洁净室

洁净室描述与特点范围

洁净室是通过环境控制技术维持超低微粒浓度和稳定温湿度的封闭空间，具有以下核心特点：

1. 洁净等级：符合ISO 14644标准（Class 1-9级），通过HEPA/ULPA过滤系统实现动态微粒控制。

2. 静电防护：集成防静电地板、墙体及设备，表面电阻10^5-10^9Ω，避免ESD损伤敏感元件。

3. 环境参数：恒温（20-26℃）、恒湿（45±5%）、压差控制（5-20Pa），确保工艺稳定性。

4. 材料规范：采用无尘、低析出建材，避免化学污染，满足GMP或半导体行业标准。

应用范围：

• 半导体：芯片光刻、封装测试

• 生物医药：无菌制剂、基因工程

• 精密光学：镜头镀膜、激光器件

• 航天能源：卫星组件、锂电池生产