晶圆垫片 导电晶圆隔片

晶圆垫片是一种具备优良防静电性能的缓冲材料,用于保护晶圆在运输和存储过程中免受静电和物理损伤,确保晶圆的安全与稳定。同时,它无毒无化学残留,有效控制环境污染,是半导体晶圆代工和光电产业不可或缺的关键部件。

Description

晶圆垫片,又称为防静电垫片、抗静电晶圆隔离垫、黑导分隔片、黑色晶圆圆形隔片、无尘净化晶圆垫方片、导电晶圆隔片、晶圆缓冲分隔片、黑色晶圆垫、黑色晶圆分隔片、圆形晶圆垫、方形晶圆分隔片、异型晶圆方片,另外按其表面处理工艺又称为防静电黑色压纹晶圆垫、黑色晶圆防滑隔片、压纹晶圆方片等,是一种专为半导体晶圆代工和光电产业设计的高性能材料。它采用特殊工艺制成,表面平整、不掉粉、不发尘,并具备优良的防静电和导电性能。晶圆垫片广泛用于晶圆盒内,作为缓冲垫片,以防止晶圆在运输和存储过程中受到物理损伤和静电损害。

用途

晶圆垫片主要用于半导体晶圆代工和光电产业中,作为晶圆盒内的关键部件。其主要用途包括:

  1. 防止静电损害:晶圆垫片能有效泄放晶圆等产品上积累的电荷,防止静电对电子敏感元件造成损害。
  2. 提供缓冲保护:在晶圆运输和存储过程中,晶圆垫片可以起到缓冲作用,减少外界冲击对晶圆的影响。
  3. 控制环境污染:晶圆垫片无毒无化学残留,能有效控制AMC(气体分子污染物)与VOC(挥发性有机化合物)的污染。

特点

  1. 防静电性能优良:晶圆垫片具有稳定的表面电阻率,能够迅速泄放静电,保护晶圆免受静电损害。
  2. 无尘环保:材料表面平整,不易掉粉发尘,符合千级无尘标准,满足高洁净度环境要求。
  3. 强韧耐用:晶圆垫片具有良好的刚性、韧性、拉伸力和抗冲性,能够承受一定的外力冲击。
  4. 尺寸稳定:垫片尺寸精确,稳定性好,能够确保晶圆在运输和存储过程中的安全性。
  5. 适应性强:晶圆垫片可在较宽的温度范围内使用,适应不同的环境条件。

参数

      根据提供的规格,黑色晶圆垫片隔离纸的具体参数如下:

型号 形状 尺寸 厚度 电阻
3英寸 圆形 直径76MM 0.1mm 10E5-9Ω
4英寸 圆形 直径102MM 0.1mm 10E5-9Ω
5英寸 圆形 直径125MM 0.1mm 10E5-9Ω
6英寸 圆形 直径150MM 0.1mm 10E5-9Ω
7英寸 圆形 直径180MM 0.1mm 10E5-9Ω
8英寸 圆形 直径200MM 0.1mm 10E5-9Ω
9英寸 圆形 直径229MM 0.1mm 10E5-9Ω
10英寸 圆形 直径254MM 0.1mm 10E5-9Ω
12英寸 圆形 直径300MM 0.1mm 10E5-9Ω
14英寸 圆形 直径360MM 0.1mm 10E5-9Ω
15英寸 圆形 直径395MM 0.1mm 10E5-9Ω

这些黑色晶圆垫片隔离纸具有不同直径和厚度,但电阻率都在10的5-9次方欧姆之间,适用于各种尺寸的晶圆。

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