MIRAWIPE® 擦拭布HT5790S-25

MiraWIPE的高强度织物、耐用的密封边框和专有的清洗工艺专为28纳米以下晶圆厂中最苛刻的设备清洁应用而设计,在这些应用中,表面必须没有残留物和颗粒污染。非常适合去除晶圆接触和高真空室上顽固粘附的颗粒和污渍。超声波宽密封边框可减少重型擦拭过程中纤维的产生。专有的洗涤工艺确保兼容性

描述

MiraWIPE的高强度织物、耐用的密封边框和专有的清洗工艺专为28纳米以下晶圆厂中最苛刻的设备清洁应用而设计,在这些应用中,表面必须没有残留物和颗粒污染。非常适合去除晶圆接触和高真空室上顽固粘附的颗粒和污渍。超声波宽密封边框可减少重型擦拭过程中纤维的产生。专有的洗涤工艺确保兼容性。

型号 HT5711S-25
材料 微纤维
每箱包装数 50
每包数量 25
纸箱尺寸 25 x 13 x 19
重量 44
尺寸 11″ x 11″
密封 宽封边
洁净室环境 1级 – 100级,欧盟A-D级,ISO 3级 – 5级

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