描述
MiraWIPE的高强度织物、耐用的密封边框和专有的清洗工艺专为28纳米以下晶圆厂中最苛刻的设备清洁应用而设计,在这些应用中,表面必须没有残留物和颗粒污染。非常适合去除晶圆接触和高真空室上顽固粘附的颗粒和污渍。超声波宽密封边框可减少重型擦拭过程中纤维的产生。专有的洗涤工艺确保兼容性
型号 | HT5790S |
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材料 | 微纤维 |
每箱包装数 | 8 |
每包数量 | 150 |
纸箱尺寸 | 10 x 17 x 10 |
重量 | 23 |
尺寸 | 9″ x 9″ |
密封 | 宽封边 |
洁净室环境 | 1级 – 100级,欧盟A-D级,ISO 3级 – 5级 |
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