Description
晶圆垫片,又称为防静电垫片、抗静电晶圆隔离垫、黑导分隔片、黑色晶圆圆形隔片、无尘净化晶圆垫方片、导电晶圆隔片、晶圆缓冲分隔片、黑色晶圆垫、黑色晶圆分隔片、圆形晶圆垫、方形晶圆分隔片、异型晶圆方片,另外按其表面处理工艺又称为防静电黑色压纹晶圆垫、黑色晶圆防滑隔片、压纹晶圆方片等,是一种专为半导体晶圆代工和光电产业设计的高性能材料。它采用特殊工艺制成,表面平整、不掉粉、不发尘,并具备优良的防静电和导电性能。晶圆垫片广泛用于晶圆盒内,作为缓冲垫片,以防止晶圆在运输和存储过程中受到物理损伤和静电损害。
用途
晶圆垫片主要用于半导体晶圆代工和光电产业中,作为晶圆盒内的关键部件。其主要用途包括:
- 防止静电损害:晶圆垫片能有效泄放晶圆等产品上积累的电荷,防止静电对电子敏感元件造成损害。
- 提供缓冲保护:在晶圆运输和存储过程中,晶圆垫片可以起到缓冲作用,减少外界冲击对晶圆的影响。
- 控制环境污染:晶圆垫片无毒无化学残留,能有效控制AMC(气体分子污染物)与VOC(挥发性有机化合物)的污染。
特点
- 防静电性能优良:晶圆垫片具有稳定的表面电阻率,能够迅速泄放静电,保护晶圆免受静电损害。
- 无尘环保:材料表面平整,不易掉粉发尘,符合千级无尘标准,满足高洁净度环境要求。
- 强韧耐用:晶圆垫片具有良好的刚性、韧性、拉伸力和抗冲性,能够承受一定的外力冲击。
- 尺寸稳定:垫片尺寸精确,稳定性好,能够确保晶圆在运输和存储过程中的安全性。
- 适应性强:晶圆垫片可在较宽的温度范围内使用,适应不同的环境条件。
参数
根据提供的规格,黑色晶圆垫片隔离纸的具体参数如下:
型号 | 形状 | 尺寸 | 厚度 | 电阻 |
---|---|---|---|---|
3英寸 | 圆形 | 直径76MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
4英寸 | 圆形 | 直径102MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
5英寸 | 圆形 | 直径125MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
6英寸 | 圆形 | 直径150MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
7英寸 | 圆形 | 直径180MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
8英寸 | 圆形 | 直径200MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
9英寸 | 圆形 | 直径229MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
10英寸 | 圆形 | 直径254MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
12英寸 | 圆形 | 直径300MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
14英寸 | 圆形 | 直径360MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
15英寸 | 圆形 | 直径395MM | 0.1mm | 10E5-9Ω |
这些黑色晶圆垫片隔离纸具有不同直径和厚度,但电阻率都在10的5-9次方欧姆之间,适用于各种尺寸的晶圆。
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